Dalam industri pembuatan semikonduktor, penggunaan sensor perpindahan atau proximity sensor sangat dibutuhkan untuk memenuhi kebutuhan pemrosesan dalam industri chip. Proximity sensor memiliki akselerasi tinggi, medan magnet kuat, dan vakum ultra-tinggi yang sangat cocok untuk produksi lapisan, proses metalisasi, litografi dan packaging.
Pembuatan chip semikonduktor menggunakan setidaknya dua jenis proximity sensor yaitu induktif dan kapasitif untuk hasil yang maksimal.
Proximity Sensor Kapasitif
Sensor perpindahan kapasitif dirancang untuk mengukur perpindahan, jarak dan posisi, serta ketebalan material secara non kontak. Karena kestabilan dan resolusi sinyalnya yang tinggi, proximity sensor kapasitif banyak digunakan di laboratorium dan pekerjaan pengukuran pada industri. Contohnya dalam kontrol produksi, sensor ini mengukur ketebalan lapisan dan aplikasi perekat. Proximity sensor ini dipasang di mesin, lalu mereka akan memantau perpindahan dan posisi mesin.
Keunggulan:
- Sistem pengukuran multi-saluran kapasitif untuk pemantauan posisi alat berat
- Perpindahan non-kontak dan pengukuran jarak dengan rentang pengukuran dari 0,05 mm hingga 10 mm
- Resolusi nanometer
- Bandwidth tinggi untuk pengukuran dinamis
- Ideal untuk pengukuran stabil jangka Panjang
Proximity Sensor Induktif
Proximity Sensor induktif adalah sensor yang bekerja berdasarkan pada prinsip eddy current dan dirancang untuk mengukur perpindahan, jarak, posisi, osilasi dan getaran tanpa sentuhan.
Keunggulan:
- Sistem pengukuran perpindahan induktif berkinerja tinggi
- Pengukuran jarak dan perpindahan non-kontak dengan rentang pengukuran dari 0,4 mm hingga 80 mm
- Resolusi nanometer
- Respons frekuensi tinggi untuk tugas pengukuran dinamis
- Desain sensor khusus pelanggan
Berikut peran proximity sensor pada proses pembuatan chip semikonduktor:
Monitoring Proses Pemotongan
Saat proses pembuatan chip, gergaji kawat (wire saw) digunakan untuk memotong batang logam hanya dalam sekali potong. Karena kawat mengalami keausan yang kuat, gergaji kawat harus dipantau di beberapa titik menggunakan proximity sensor induktif yang bekerja dengan prinsip eddy current. Ini tidak hanya mendeteksi ketinggian kawat pada roller pemandu tetapi juga penurunan kawat, sehingga memungkinkan pendeteksian keausan kawat yang cepat dan sangat tepat. Sensor ini tahan terhadap debu dan kotoran yang memungkinkan hasil pengukuran resolusi tinggi.
Memposisikan wafer stage
Proximity sensor digunakan untuk pemantauan posisi di tahap wafer di mana mereka mengukur gerakan XYZ yang sangat dinamis. Kedua proximity sensor kapasitif dan induktif (eddy current) digunakan untuk mencapai resolusi nanometer.
Pemosisian mask dalam aplikasi litografi
Proses litografi memerlukan resolusi tinggi dan pengukuran stabil jangka panjang dari pergerakan mesin untuk mencapai presisi maksimum. Sensor perpindahan kapasitif memantau proses pemosisian mask yang sangat akurat ini.
Memposisikan sistem lensa di mesin litografi
Sensor perpindahan induktif yang sangat dinamis (eddy current) mengukur posisi elemen lensa untuk mencapai akurasi pencitraan setinggi mungkin.
Itulah peran proximity sensor pada industri pembuatan chip semikonduktor. Jika Anda tertarik dengan sensor ini, bisa menghubungi kami melalui chat online atau email: sales@testingindonesia.com, Whatsapp: 0813-9929-1909 (Zulfikri).
